电子二极管硅芯片洁净车间,亦称为无尘室或洁净室。它的主要功能就是将电子二极管硅芯片制造环境空气中的有害细菌、有害气体、有害微粒子等的污染物排除,并将制造车间内的气流速度与气流分布、湿度、温度、洁净度、室内压力、噪音分贝、机械振动及照明、静电控制在某一需求的范围内,同时洁净室设计还可以保证生产车间内的生产线整齐规范,有利于产品的现场管理,使电子二极管硅芯片产品能在一个较好的环境中生产、制造和储存,有利于保证产品质量,提高产品性能。
电子洁净车间所需能量消耗很大,为一般空调系统的5~10倍。所以电子洁净车间的节能设计及采用节能型新材料、新设备、新技术、新工艺,为电子芯片制造厂降低能耗,是当前电子洁净室行业发展的方向,也是净化工程设计**性重要的衡量指标之一。